Pembangunan alat mesin ultra ketepatan adalah prasyarat penting untuk pembangunan pemesinan ultra ketepatan. Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, negara maju telah berjaya membangunkan pelbagai alat mesin pemesinan ultra ketepatan termaju. Arah pembangunan alat mesin ultra ketepatan adalah untuk meningkatkan lagi ketepatan alat mesin ultra ketepatan, membangunkan alatan mesin ultra ketepatan berskala besar, dan membangunkan alatan mesin ultra ketepatan pelbagai fungsi dan kecekapan tinggi tujuan khas.
Amerika Syarikat, Britain, Jerman dan negara-negara lain mula menghasilkan alat mesin ketepatan ultra pada 1970-an (Jepun pada 1980-an), dan boleh membekalkannya secara berkelompok. Dari segi alatan mesin ultra ketepatan berskala besar, Makmal Kebangsaan LLL di Amerika Syarikat berjaya membangunkan dua mesin pelarik berlian ultra ketepatan skala besar pada tahun 1986: satu ialah mesin pelarik berlian DTM-3 mendatar dengan diameter pemesinan. daripada 2.1m, dan satu lagi ialah diameter pemesinan 1.65m. Pelarik Berlian Optik Besar LODTM Menegak. Antaranya, mesin pelarik berlian optik besar menegak LODTM diiktiraf sebagai alat mesin ketepatan ultra dengan ketepatan tertinggi di dunia. Amerika Syarikat kemudiannya membangunkan mesin pengisar ketepatan CNC berskala besar 6-paksi untuk mengisar ketepatan cermin optik besar.
Pusat Pemesinan Ketepatan Cranfield British berjaya membangunkan mesin pengisar CNC tiga koordinat OAGM{0}} pelbagai fungsi pada tahun 1991 (luas meja 2500mm × 2500mm), yang boleh memproses (mengisar, memusing) dan mengukur permukaan bentuk bebas ketepatan. Alat mesin menggunakan kaedah penyambungan bahan kerja, dan juga boleh memproses cermin besar dengan diameter 7.5m dalam teleskop astronomi.
Alat mesin ultra-kepersisan pelbagai fungsi dan kecekapan tinggi Jepun telah berkembang pesat, yang telah memainkan peranan yang baik dalam menggalakkan pembangunan industri mikroelektronik dan perkakas rumah Jepun.