Teknologi pemesinan mikro adalah proses yang sangat fleksibel, yang boleh menghasilkan komponen mikro dengan bentuk yang kompleks. Di samping itu, ia boleh digunakan untuk pelbagai bahan. Kebolehsuaiannya menjadikannya sangat sesuai untuk operasi pantas daripada idea kepada prototaip, pembuatan struktur 3D yang kompleks, dan reka bentuk dan pembangunan produk berulang,
1. Teknologi pemesinan mikro fizikal
Pemprosesan pancaran laser: proses pemprosesan yang menggunakan tenaga haba yang dipandu oleh pancaran laser untuk mengeluarkan bahan daripada permukaan logam atau bukan logam. Ia lebih sesuai untuk bahan rapuh dengan kekonduksian rendah, tetapi ia boleh digunakan untuk kebanyakan bahan.
Pemprosesan pancaran ion: teknologi pembuatan bukan konvensional yang penting untuk pembuatan mikro / nano. Ia menggunakan aliran ion dipercepatkan dalam kebuk vakum untuk mengeluarkan, menambah atau mengubah suai atom pada permukaan objek.
2. Teknologi pemesinan mikro kimia
Goresan ion reaktif (RIE): proses plasma di mana bahan teruja oleh nyahcas RF untuk menggores substrat atau filem dalam kebuk voltan rendah. Ia adalah proses sinergistik bahan aktif kimia dan pengeboman ion bertenaga tinggi.
Pemesinan elektrokimia (ECM): kaedah penyingkiran logam melalui proses elektrokimia. Ia biasanya digunakan untuk pengeluaran dan pemprosesan berskala besar bahan atau bahan yang sangat keras yang sukar diproses dengan kaedah tradisional. Penggunaannya terhad kepada bahan konduktif. ECM boleh memotong sudut kecil atau tidak sekata, kontur kompleks atau rongga dalam logam keras dan jarang.
3. Teknologi pemesinan mikro mekanikal
Pusing berlian: proses memusing atau memesin komponen ketepatan dengan mesin pelarik atau terbitan yang dilengkapi dengan bit berlian asli atau sintetik.
Pengilangan berlian: proses pemotongan yang boleh digunakan untuk menghasilkan susunan kanta asfera dengan pemotongan bulat menggunakan alat berlian sfera.
Pengisaran ketepatan: pemesinan kasar yang membolehkan bahan kerja dimesin menjadi kemasan permukaan yang halus dan toleransi yang sangat hampir 0.0001 ".
Penggilapan: pemprosesan yang melelas, penggilap pancaran ion argon ialah proses yang agak stabil, yang digunakan untuk kemasan cermin teleskop dan membetulkan ralat sisa penggilap mekanikal atau peranti optik pusingan berlian. Proses MRF ialah proses penggilapan deterministik pertama. Dikomersialkan dan digunakan dalam pengeluaran kanta asfera, pemantul, dsb.
